Specifications

CE
Owned by Chinese Academy of Science
High vacuum diffusion pump system
Canal use world's top Swagelok ferrule connection

Product introduce:

CVI-1200 system is composed of high temperature tube furnace, vacuum pressure control system, over-voltage protection and condensation. It can do mixed gas chemical vapor deposition and diffusion experiment. And vacuum can reach 0.1 mabr.

Main function and Features:

1. In high temperature experimental process,  can work with the pressure control device to achieve precise control of negative pressure;

2. Digital mass flow control system is proposed of multi-channel mass flow meter, flow indicator and other components. It can obtain precision measurement and control of gas flow; Each gas pipes are equipped with high-pressure check valve, to ensure the safety, continuous and uniform of protection, reduction, replacement atmosphere gas in the quartz tube.

3. The exhaust volatiles minus 20 degrees condenser deposition, in order to do the collection and processing .

4. Adopted KF fast sealing flange, convenient loading and unloading; Pipeline used the world's top Swagelok ferrule connections, no leakage.

5. When over temperature, overvoltage will automatically cut off the heating power and stop inlet gas. Used more safe and reliable.

 

Main uses:

Universities, research institutes, industrial and mining enterprises to do high-temperature atmosphere sintering, atmosphere restoring and CVD / CVI experiment, especially suitable for vacuum coating, nano- film material producing and Chemical vapor infiltration of carbon fiber composite materials.

 

 

Technical Parameter:

SGL-1200L	Temperature control mode	The temperature control system uses artificial intelligence technology, with PID control, self - tuning function , 30 the heating and cooling program
	Heating elements	0Cr27Al7Mo2
	Power supply	AC220V    50HZ/60HZ
	Rated power	4KW
	Tube size	Φ60/80/100*800mm
	Working temp	≤1150C
	Max temp	1200C
	Constant heating zone length	100mm(customized)
	accuracy	±1C
	Heating rate	≤20C/min
	Temperature	N-type thermocouple
	Seal type	Stainless steel water cooling KF flange rapid extrusion seal
MV2NT VARIO	ultimate vacuum	0.1mabr
	Configuration	Vacuubrand four diaphragm pump
	Measuring mode	Capacitive ceramic diaphragm vacuum controller
	Vacuum gauge tube	Capacitive ceramic diaphragm vacuum gauge
	Cooling mode	Air cooling
	Pumping speed	1L/S
HQZ-iv	Control mode	CS200 mass flowmeter with a communication interface to connect the computer control
	Flow	0-500SCCM /0-1SLM,  (customized)
	linear	±0.5%F.S.
	Accuracy	±1%F.S.
	Repeat accuracy	±1%F.S.
	Respond time	≤1sec
	Zero drift	<0.6%F.S.
	Max temp	3MPa
	Gas channel	4 routes (customized)
	Interface	SwagelokΦ6mm