Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine
Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine
Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine
Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine
Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine
Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine

Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine

USD $43,000 - $45,000 /Set

Min.Order:1 Set

Supply Ability:
3 Set / Sets per Month
Port:
Qingdao
Payment Terms:
T/T

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Condition:
New
Place of Origin:
Shandong, China
Brand Name:
UBU
Model Number:
LZ-1100
Voltage:
380V
Power(W):
50KW

Qingdao UBU Vacuum Equipments Corp., Ltd.

Business Type: Manufacturer,Trading Company
Qingdao Shandong China
Main Products: vacuum coating equipment ,PVD coating equipment ,vacuum plasma coating equipment ,magnetron sputtering coating equipment ,vacuum evaporation equipment

Product Details

Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine 

Product Description

 Vacuum multiple arc magnetron sputtering compound ion coating machine is mainly used for the coating system to 

a variety of metal film also can coat multilayer ,alloy film and chemicals, such as plating super hard wear-resistant 

film, anti-corrosion coating decorative film (gold, silver, black, red, blue, green and other colors), combined with 

magnetron sputtering coated multilayer films can be deposited on stainless steel, aluminum, titanium, tungsten and 

other metal films, but also can be coated film of TiN ,TiC, TiCN, TiAlN, CrN, the CU, AU, the diamond film 

(DLC), the decorative film ,non-metallic also it’s compounds film and multilayer. Applies to hardware, glass 

handicrafts, ceramic product, etc, such as watches, mobile phones metal cover, sanitary ware, mold, electronic 

products, crystal glass, eyeglass frame, tableware, knives and so on. In recent years, electric arc ion plating 

technology has been greatly developed, from the original single arc source to the column arc, large flat arc,etc. But 

also makes the equipment applicable widely combined with the technology of frequency magnetron sputtering, for 

example, the application of hard coatings, more smooth and well decorative coating applications. 

 

 

Vacuum Multiple Arc Magnetron Sputtering Compound Ion Coating Machine

Model

Type 

Power

Product Description

LZ-1100

Φ 1000×

H1200mm

50KW

Vacuum chamber use superior stainless steel material and adopts vertical

front door structure, rear air exhaust system and double-layer water cooling

 chamber, arc coated with a combination of magnetron sputtering coating method.

LZ-1250

Φ 1250×

H1350mm

 

60KW

The vacuum obtain system of the machine composed of  diffusion vacuum

 pump, Roots vacuum pumps, mechanical vacuum pumps . Coating 

situation can be observed through the observation window, according to 

different process requirements, using magnetron sputtering device or multi-

arc ion device to coat the products that mounted on the planetary rotation 

and revolution rack. Meanwhile,when the vacuum chamber start to extract 

the vacuum, opening the heating device, heating the vacuum chamber, the 

heating temperature can be set according to the product of different processes. 

LZ-1500

Cylindrical

 magnetron

 target

Φ 1500×

H1200mm

65KW

The machine adopts the cylindrical magnetron target, the magnetron target 

number can be selected according to the different coating process and 

customer needs, the workpiece transfer frame and rotational mode adopt 

planetary rotation and revolution, parts baking temperature from room 

temperature to 450°C controllable and adjustable (PID temperature control.

LZ-1600

Cylindrical

 magnetron target

Φ 1600×

H1200mm

70KW

The machine adopts the cylindrical magnetron target, the magnetron target 

number can be selected according to the different coating process and 

customer needs, can coat decorative film (TiN,TiC,ZrN,TiAlN, CrN,etc),

 the metal film, the reaction film. 

Power Supply Type

Pulse Bias Power Supply, Direct Current magnetron power Supply, Medium 

Frequency Magnetron Power Supply, Arc power

Ultimate Vacuum

8×10-4 Pa 

Pump-out Time

From air to 5.0×10-3Pa≤20min (no-load)

Rotating Stand

and Rotating Style 

6 axis/8 axis/9 axis planetary autorotation and frequency conversion speed 

regulation (controlled and adjustable)

Control mode 

Automatic and Manual operation modes integrated,

touch screen,PLC or computer control.

Remark

Designed flexible and select the appropriate equipment according to 

demanders’requirements . (The range of vacuum chamber Φ 0.5-3m, H: 0.5-3m).

      

Packaging & Shipping

Wooden case

Services:

Warranty: 12months

Installation: Engineers available to service machinery by go to customers' country.

Reception of visitors: Customers can come to our factory to study and operate with free accommodation.

FAQ

Diffusion pump, rotary vane pump, roots pump, holding pump, pulse magnetron sputtering 

power, unipolar pulse power, frequency magnetron power, DC magnetron power, vacuum 

gauge, flange.

 

Installation

1 Vacuum coating equipment should be installed in the ventilation and clean place. Equipment from around the walls or other objects not 

less than 500 mm, in order to inspection on equipment conveniently daily.

2 Installation site should be equipped with clean water, compressed air supply and stable voltage of 380V three phase four wire system.

3 Vacuum chamber, diffusion pump, roots pump, rotary vane pumps and maintain pump should be installed, In the case of conditional 

rotary vane pumps and maintain pump should be installed anchor bolt to prevent the pump from vibrating and displacing in the work. 

4 Electrical appliances before the installation must check whether there is any damage on electrical parts, at the same time with high-

pressure wind net electrical components and control cabinet for long-distance transportation process of surface dust.

5 When installation, must check whether all piping valves and seals complete and clean.

6 Before the installation need to check the connection bolts, ear, ground wire, instrument connection and button whether or not loose.

Check whether the electric protector is transferred to the scope of protection.

8 Tracheal joint and mouth must be strong, can’t have leakage phenomenon, airway parallel to dredge,can’t cross,boot load parts, 

redundant trimmed.

9 Water installation should be tidy, can’t have leakage phenomenon, need to test the water pipe pressure if qualified.

10 All the parts after the installation, need to check one or two times, especially the bolt fasteners and electrical appliances parts, but also

need to check many times repeatedly, confirmed rear can commissioning.

Operate Instruction

1  Power on

   A. Check the power supply that came with the device (air compressors, cooling towers etc.) ensure that these devices to work properly.

   B. Open the total power of master cabinet, cabinet bias, arc control cabinet.

Vacuumize. Preheating first, open maintaining pump, then open an electric furnace, preheating time more than 1–1.5 hours, open the

mechanical pump, open roughing valve (V1 valve) after 5 seconds, when the vacuum degree is less than 6.0×102Pa, open roots pump, 

when the vacuum degree is less than 2.0×100Pa, close the roughing valve (V1 valve) and open the front valve (V2 valve), followed by the

opening of high valve (V3 valve), when the degree of vacuum coating process requirements can be done.

Coating. First glow and then help the bombers, bombed and then coated. (Depending on the coating process)

4 Released. Turn off the high valve, a minute later turn off the front valve, shut roots pumps and mechanical pumps, open the gas valve to

deflate .

Shut down. First pumping a certain vacuum, then turn off the electric stove, after an hour shut off the holding pump and then shut down 

the power which comes with the device.

Maintenance

1 Whether the circulating water in water tower keeps clean, which needs change timely according to the specific conditions. 

2 Whether the circulating water channel is unimpeded. 
3 Whether the pressure in cooling water tower and air compressor is normal(standard: water pressure≥0.4mpa, air pressure0.8mpa).
4 Whether the water pipe and air pipe has leakage condition.
5 Whether the air compressor and water pump operate normally.
6 Whether all the valves operate normally.
7 Whether the oil mass in 
mechanical pump, roots pump, diffusion pump and molecular pump is within the normal level, which needs 

change in time according to the specific consumption.
8 Whether all target energies operate normally, which needs to change in time according to the specific consumption
9 Whether all Intermediate frequency targets, DC targets and evaporation source glow have the short circuit condition.

10 Whether the grid bias power supply, intermediate frequency power supply, multiple arc ion power supply, magnetic sputtering DC 

power supply and molecular pump power supply operate normally
11 Whether the equipment’s heating is normal.
12 Whether all the switches and 
indicator lights on the control panel operate normally.
13 Whether the equipment’s 
eakproofness and pressure keeping condition is normal.
14 Whether the pressure of Argon gas, Nitrogen gas, Oxygen gas and Acetylene is normal without air leakage. 
15 Whether the 
rotating shelves operate normally.
16 Whether the equipment’s inner lining board changed timely and whether the equipment’s appearance keeps clean.

Contact Supplier

Telephone
86 -532 -58672659
Address
Xiaochengzhichun, Heilongjiang Road North, Chengyang Qingdao,Shandong

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