Input Voltage

110/220VAC switchable

Output Power

1600VDC

250W

150mA max.

Built-in overcurrent (>150mA) protection

Specimen chamber

Quartz glass tube, 167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height

Sputtering Head 
&
Specimen stage

2“ megnetronsputtering head with water cooling jaket is included 

One 50 mm Dia stainless steel .sample stage is built in, which is rotable from 0 - 5 RPM 

One manually operated shutter is build in to achieve better coating 

Built in a fixture to place sputtering head when open chamber

Distance betweemsputtering head and sample stage is adjustable from 60 - 100 mm.

One Air Cold Recirculating Water Chiller 10L / min Flow is included for colling sputtering head.

Control Pannel

6" color touch-screen control panel with PLC integration for easy operatio

One panel controls all parameters, including vacuum, current, target position 

and substrate heating temperature

Ultimate Vacuum Pressure

Built in KF25 vacuum port

The system requires a Ar gas tank with pressure regulator, which is not included

<10E-2 mbar by vane vacuum pump (not included) for Au, Ag, Pt, Cu, Mo targets 

(not sensitive to air)

7.5E-5 mbar by Turbo molecular pump (not included) for Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn targets

 (sensitive to air)

Gas Atmosphere

One needle valve installed to allow Ar gas inlet to achieve better plasma coating

The system requires an Ar gas tank with pressure regulator which is not included

Target

Target size: 50 mm dia. x (0.1 - 3) mm,thickness

One 2" Aluminium target is included

Also can coat Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Mg, etc. 

These targets are available upon request.

Aluminum Target Recommend Coating Method

Optional Film 

Thickness Monitor

Film thickness monitor is optional at extra cost ( click PIC below-left to see specsand order )

Heatable sample stage upto 500oC is available upon reuqest at extra cost

Overall Dimensions

( L 440mm×W 330mm × H 290mm without sputtering head )

Net Weight

20 kg ( not included pump )

Warranty & Certificate

One year limited with lifetime support

CE certified

Knowledge of Sputter Coating

we shares the most state-of-art sputter coating technology with our customer, please click the picture below to read the artical - Plasma Sputter Coating. 

Application Notes

HIGH VOLTAGE! Sputtering head connects to high voltage. For the purposes of safety, the operator must be required to wear gloves during operation.