Axis QTY 

Single Axis 

2 Axis 

3 Axis 

Structure style 

Vertical / Horizontal

U/T or O/O 

UOO/UOT/ OOO 

Loading install 

Table type

Table type

Table type/ 

Frame type 

Diameter of installed table surface(mm)

Φ450mm /Φ320mm

Φ450mm /Φ320mm

Design according to loading size 

Surface flatness(mm)

0.01

0.01

0.01 (Table type)

Precision of shafting(″)

+/-2″ 

+/-2″ 

+/-2″ 

Positional accuracy (″)

+/-3″ 

+/-3″ 

+/-3″ 

Angle resolution (″)

0.36 ″

0.36 ″

0.36 ″

Angle rate range(°/s)

0.001~1000

0.001~1000

0.001~1000

(different axis different ) 

Angle rate accuracy/ stability (average) 

2*10-³(10 °)

3*10-³(10 °)

3*10-³(10 °)

2*0.0001(10 °)

3*0.0001(10 °)

3*0.0001(10 °)

2*0.00001(360 °)

3*0.00001(360 °)

3*0.00001(360 °)

Connector 

RS232/RS422

RS232/RS422

RS232/RS422

Max angel acceleration (m/s²)

300

300

300 (different axis different )