MODEL:   OEC-l350                / USED: Optical Lens

Chamber Inner Size:                Diameter1350×H1500mm

                   Vertical Front-Opening door

Vacuum Chamber Dome: 2 sets – 3 section

Heating: Halogen lamp:6KV

Chamber Material:SUS 304 Stainless Steel  

                               Diffusion Pump:KT-630 (2 sets) 24”

Vacuum System:                  Roots Pump:ZJY-600(1 set)            

                               Preceding Mechanical Pump:H-150(1 set)                  

                               Holding Pump:2X-30(1 set)                  

Note**(When the machine stops, the pump work 2 hours or so, to protect the vacuum and the whole system,it also mechanical pump)

Ion Source:  1 set              Model: CDNY-07LZ/2KW, Produced by Chendu Nanyi

Electronic Gun:      model:JYK-HZ08                8/10KW

Quartz Crystal Control:       SQC -310 Produced USAUNINFICON

Polycold Machine:Model:TH-135-12P,  produce by Beijing Tiandi Jingyi Technology Co., Ltd.

Vacuum Gauge:       ZDF (Pirani-2ea, penning 1-ea), produced 

                                   Chengdou ZhengHua              

Ultimate Vacuum:                     6.0×10-4Pa 

Working Vacuum:                     2.0×10-2Pa 

Static Leakage Rate:                   0.67Pa/h

Cooling Mode:                      water circulation cooling 

                                  2 sets of control cabinets 

Control Mode:                touch Screen of 12 inches, color screen

                            PLC programmable from Mitsubishi of Japan.                                      

Alarm and Protection Alarm for water shortage, over current, and the over voltage and broken circuit protection, Perform the corresponding Measures and

the function of electric interlock.                                       

Other Parameters:

                           Water Pressure: > 0.2 to 6 Mpa, 80 L/Min                                       

                           Water Temperature:≤22ºC 

                           Air Pressure: 0.4 to 0.6 Mpa

                           Power Supply: 220/380V,60Hz–60KV

Manual for each parts & components must have a manual of operation and maintenance version in English.

Spare parts with the machine must supply the main necessary to consumable of pieces that is change when is necessary when the machine is on operation.                     

Tool Box:     A complete set of tool to make maintenance