Vacuum chamber

    Ø1200mm×H1400mm vertical with single door

             Chamber material:SUS304

spools

      Public rotation(SUS 304) 6 nos

Arc power supplier

             Max 200a (the digital display)  10sets

Ion sputtering source

      10sets

Bias power supplier

      Pulsed bias 20kw(-1000v)  1set

Baking system

             Heating tube PID control to 300 celsius

Gas flow meter

      MFC D07 series (4 sets)

Vacuum gauge

             ZDF-5227

valve

Main     valve

             GDQ-630

Rough    valve

             GDQ-100

Front     valve

      GDQ-100

Vacuum 

System 

Turbo molecular pump

      FF-400/3600  2sets (optional)

Diffussion pump

      KT-630

Rotary    pump

             2x-70

Roots     pump

      ZJY-300A

Holding   pump

      2X-15

Intelligent control system

             AUTOMATIC HMI+ PLC controlled

Pump speed & ultimate vacuum

             5*10-2pa<4mins  &  5*10-5pa

Yield time & output

            20-30mins  &  3.2m2 per hour(for your product)

Total power 

             129KW (molecular pump 120kw)

FOB(NINGBO) PRICE 

           DP pump:  USD  76000.00

           TM pump:  USD  96000.00

DELIVERY TIME 

             50 working days

WENZHOU CICEL VACUUM MACHINE CO., LTD.

Miss Rosa    M.P:+8613857737962  TEL:0086-577-86739805  FAX:0086-577-56615100

Email:export-a2@ccvacuum.com  ADD:NO.9 Binhai Avenue ,Longwan distric,Wenzhou city,China